水汽收集装置也称之为超低温水汽收集仪器是一种用于捕集真空系统中水蒸汽的装置。它通常被安装在真空系统的高阀与真空腔之间或真空腔内，用于去除系统中的水蒸汽，以保持系统的洁净度和稳定性。水汽收集装置的主要工作原理是利用制冷盘管的低温效应。制冷盘管通过制冷剂的循环降温到非常低的温度，当真空系统中存在水蒸汽时，水蒸汽会接触到制冷盘管的低温表面，由于温度差异水蒸汽开始冷凝成液态水。这样，水汽收集装置将水蒸汽从真空系统中收集下来，并保持真空系统的洁净环境。

为了避免制冷盘管结霜影响下次抽真空，水汽收集装置通常配备加热除霜装置。这个装置能够使制冷盘管在每次开门之前恢复到常温状态，以保证其正常工作。

水汽收集装置具有以下优点：

快速收集水蒸汽：通过低温盘管冷凝作用，可以快速收集水蒸汽，减少真空系统的排气时间。提高真空度: 通过去除水蒸汽，可以提高真空系统的真空度，提高系统的稳定性和灵敏度。保护真空设备:水蒸汽对真空设备可能会造成损害，使用水汽收集装置可以有效保护真空设备，并延长其使用寿命。

简化维护:水汽收集装置通常具有自动除霜功能能够减少维护工作量。

水汽捕集器通常用于需要高真空度和洁净度的场合，广泛应用于以下领域:

电子工业: 在电子元器件制造、半导体制造、显示器制造等领域中，需要高真空度和洁净度，水汽收集装置可以有效去除系统中的水蒸汽，保持系统的稳定性和灵敏度。

医疗行业: 在医疗设备的制造和使用中，需要高真空度和洁净度，水汽收集装置可以保证医疗设备的正常运行。

空间科学:在空间探测器和卫星等设备的制造和使用中，需要高真空度和洁净度，水汽收集装置可以保证设备的正常工作。

科研实验室: 在各种物理、化学实验中，需要高真空度和洁净度，水汽收集装置可以保持实验环境的干净和稳定。

加工制造业: 在一些产品的生产过程中，需要高真空度和洁净度，例如塑料低温镀膜、金属表面处理等领域，水汽收集装置可以去除水蒸汽，防止对产品造成污染。

总之欣谕水汽收集装置是一种重要的真空系统辅助设备，能够有效收集水蒸汽和有害气体，保持真空环境的洁净和稳定。广泛适用于物理(化学)气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备,光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统等，以及有害气体回收等使用。