掺气微调阀是一个针阀，作为微量空气进入干燥箱以实现压力控制的阀门。一般与电磁阀组合使用，用微调阀调节进气量的大小，用电磁阀控制真空上下偏差。主要是用在产品冻干，升华阶段用于掺气。逆时针流量增大，顺时针流量减小。 放气电磁阀是控制无菌空气进入箱体内的阀门，当放气电磁阀通电，线圈产生磁场，衔铁动作，打开电磁阀两边通道，无菌空气从外边进到箱内。 注意阀门安装方向和共工作电压，箭头方向应与其所在的管路的气体流向一致。
MKS掺气阀结构：
阀体 2.卡圈 3.中间轴 4.线圈组件 5.电枢/插头组件（带O形圈） 6.孔板组件（不带O型圈） 7. 接头 8.内六角螺钉（8-32 x 0.50） 9.六角螺母（7/16-14） 10. O形圈，氟橡胶，尺寸2-016 11. O形圈，氟橡胶，尺寸2-009 12. O形圈，氟橡胶，尺寸3-902
MKS掺气阀驱动器：接掺气阀这端是9芯插座，接PLC和电源是15芯插头。 指示灯为橙色时，PLC无模拟量输出。 指示灯为黄色时，PLC模拟量100%输出，掺气阀在完全打开状态。
