真空系统的隔离阀：小蝶阀、箱阱隔离阀（蘑菇阀、大蝶阀）。 小蝶阀是用来接通或截止真空泵和后箱之间气流通道的隔离阀门，接在真空泵泵头管道上。小蝶阀通过气动系统来控制开和关，达到接通和截止的目的。

充气式高真空电磁挡板阀是安装在机械式真空泵上的专用阀门。阀门与泵接在同一电源上，泵的开启与停止直接控制了阀的开启与关闭。当泵停止工作或电源突然中断时，阀能自动将真空系统封闭，并将大气通过阀的进气口充入泵腔，避免泵油返流倒吸污染真空系统。 避振管接在真空管上，主要起减轻振动作用，变真空管道的刚性连接为柔性连接，排污阀主要将一些油污和水排出。