Mks(电容式)真空硅管

利用弹性薄膜在压差作用下产生形变而引起电容变化的原

理制成的。

测量头中有一层弹性膜片，把测量头分为两个室，一个是

内置的高真空室，另一个室可以与外界相通。膜片与高真

空室内电J构成一个电容器。当测量头处于大气压时，膜

片处于较大压力下，发生较大位移，使电容的增大;当测

量头处于真空状态时，膜片压力减小，位移减少，从而电

容器的电容减小。通过测量电容大小可以知道真空度。

电容式真空规管测量的数值与气体的种类无关，与压力大

小有关，所测量真空度精度高，可测蒸气和腐蚀性气体。

Mks(电容式)真空规管测量的是容器的绝对压力。

真空规管安装在容器的上方，避免工艺粉尘和液体聚集,

远离震源.

Mks(电容式)真空硅管

工作电压：DC+/- 15V,输出：DC 0-10V模拟线性输出。

膜片的平衡位置（零点）对环境温度非常敏感，为了确保薄

膜规的零点更稳定通常在薄膜规外面加一层控温装置，解决

薄膜规零点漂移大的问题。

零点的设定可以通过调整位于规管上方的零点电位计，在零

点调整前规管必须在稳定的状态下。

MKS规管在工作前需要预热2小时后才能开始抽真空，刚送电

时，表盘上温度状态灯随加热温度的上升由橙色变成黄色，

正常情况下加热失败状态灯不应该亮（红灯），亮时需要检

修.