螺杆干泵预热/停机吹扫：

a.前吹扫，在生产前干泵先空载预热30分钟，预热期间要在泵组入口管道通入一定压力氮气或压缩空气(0.2 

公斤)当干泵预热结束后，在开始抽系统真空。b.后吹扫，在生产结束后，干泵空载运行30分钟，期间要在泵

组入口管道通入一定压力氮气或压缩空气(0.2公斤)当干泵运行结束后，关闭干泵。

预热/停机吹扫的作用：

a.预热使泵内达到一定温度，提高泵的水汽和可凝气体处理能力。b.吹扫可以清除工艺流程后残留在真空管

道和泵内残留的冷凝物或可凝蒸汽和工艺粉尘，防止泵生锈卡死，延长泵的维修时间。

吹扫气体要求：

1.原则上优先选择氮气

2.氮气纯度要求高于99.9%。

3.如果使用干燥空气，空气质量不低于ISO8573纯度等级Class3。

供气压力推荐2.5Kg。

压缩空气要求：颗粒度0.5-1.0um＜1.0-5.0＜1000um.露点：-20度。油气浓度＜1mg/m3